AES/XPS

俄歇电子光谱仪(AES)是一种分析材料表面组织形态及化学结构的仪器,对浅层表面擅长,广泛应用于机械、电子、材料、化工等研究领域。

其原理为利用电子束为激发源,当原子的内层电子受激发而脱离原子时,原子的外层电子将很快的迁降至内层电子的空穴并释出能量,而激发另一外层电子使其脱离原子,激发而脱离原子束缚离开试片表面的电子即为

俄歇电子(Auger Electron),此电子同样具有代表该原子特性的能量,因此分析该俄歇电子(通过明暗成像的方式)可以得到材料成份的信息。

 

应用:

Survey of the sample surface (样品表面元素分析)

Auger depth profile (以Ar+离子枪蚀刻样品表面,得到元素纵深分析)

Auger mapping (在选定范围内作元素分布影像图)

ECSA(XPS光电子能谱) (以X光照射样品表面,观测被游离的光电子,判定其材料元素键结分析)

使用设备

PHI 710

PHI 710
加速电压0.5~25KV
放大倍率200X~500000X
俄歇电子影像解析率12nm
XPS X光源双阳极Mg Kα/Al Kα(面积>5mm)
样品最大尺寸直径10mm, 高度5mm

样品的导电性能对测试结果影响较大,不导电材质需要先做喷铂或喷金处理。

AES观测
AES 1AES 2
XPS 1XPS 2
 

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