EPMA电子探针

电子探针扫描测试 EPMA

电子探针微区分析测试(Electron probe micro-analyzer)简称EPMA,主要用来分析小块区域的样品元素的无损分析。和SEM类似,EPMA常用来做元素分析,更常用与小区域的元素mapping, 测试结果比SEM更有参考价值。

应用:
定量EPMA小范围的元素mapping;
单晶体分析,矿物年龄分析。
广泛应用于光学和半导体行业,对薄膜材料也有好的分析性能。
有成像系统,可以清晰成像观测平面图形。

使用设备:JEOL HYPERPRO

样品的导电性能对测试结果影响较大,不导电材质需要先做喷碳导电处理。

EPMA 小区元素mapping分析观测
芯片观测BSE图元素mapping-Cu
  
元素mapping-Pd元素mapping-Cl
  

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